微弧氧化 ( Microarc oxidation，MAO) 又稱微等離子體氧化(Micmplasma oxidation，MPO)，由于在研究該技術(shù)的過程中對微弧氧化的本質(zhì)有不同的理解，在發(fā)展過程中有不同的術(shù)語：陽極火花沉積、陽極氧化、等離子體電解陽極化處理、一般稱為微弧氧化或微等離子體氧化。

微弧氧化是指利用微弧放電在金屬表面生長氧化膜的技術(shù)。氧化膜性能優(yōu)良，主要用于機(jī)械、電氣、汽車、武器裝備、航空航天等行業(yè)關(guān)鍵部件的表面處理，解決高溫?zé)g、磨損、腐蝕等問題。例如，俄羅斯在制造洲際彈道導(dǎo)彈子母彈的過程中采用了微弧氧化技術(shù)。經(jīng)過微弧氧化處理后，水上快艇高速發(fā)動(dòng)機(jī)缸體下套和活塞的耐磨性提高了幾十倍，這是其他表面處理技術(shù)無法替代和比擬的。

德國科學(xué)家早在20世紀(jì)30年代 A.Gunterschulz和H.Betz 第一次報(bào)道高電場浸泡在液體中的金屬表面發(fā)生火花放電，火花在沒有發(fā)現(xiàn)硬層的情況下破壞氧化膜， 做出了“ 為了獲得高質(zhì)量的涂層，不應(yīng)使用高于火花時(shí)的電壓。 的結(jié)論，但它們?yōu)榛鸹枠O氧化奠定了初步的理論基礎(chǔ)。這一觀點(diǎn)一直延續(xù)到 2 0世紀(jì)7 O盡管少數(shù)學(xué)者對這一現(xiàn)象持保留觀點(diǎn)，但這一結(jié)論并沒有完全改變。

前蘇聯(lián)科學(xué)家1969年 G.A.Markov 當(dāng)向鋁和鋁合金材料施加高于火花區(qū)電壓時(shí)，突破性獲得高質(zhì)量的氧化膜，具有良好的耐磨性和耐腐蝕性，稱為微弧氧化 ( Microarc Oxidation，MAO) 。此后 G.A. 一Markov 研究小組進(jìn)行了大量的基礎(chǔ)研究，并在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了應(yīng)用研究。在此期間，美國和德國也對該技術(shù)進(jìn)行了廣泛的研究，包括實(shí)際應(yīng)用。從文獻(xiàn)的角度來看，美國和德國前蘇聯(lián)基本上獨(dú)立發(fā)展了這項(xiàng)技術(shù)，很少引用文獻(xiàn)。該技術(shù)于20世紀(jì)80年代開始在世界范圍內(nèi)廣泛交流。

鈦合金具有重量輕、比強(qiáng)度大、熱穩(wěn)定性好等優(yōu)異的綜合性能，廣泛應(yīng)用于航空、航天和民用工業(yè)。但缺點(diǎn)是鈦合金表面硬度低、耐磨性差、耐腐蝕性差，特別是鈦合金與其他金屬接觸時(shí)容易接觸腐蝕，嚴(yán)重限制了鈦合金的進(jìn)一步應(yīng)用。因此，國內(nèi)外對鈦合金表面進(jìn)行了改性研究，以提高其表面性能。陽極氧化是傳統(tǒng)的表面改性技術(shù)，P V D／C V D、離子注入、熱噴涂和熱氧化法。鈦合金陽極氧化膜厚度一般小于1μm，達(dá)到2～3μm自己不容易，硬度低，目前只用于裝飾涂層。P V D／C V D、離子注入和熱氧化法在涂層制備過程中需要保持高溫，在一定程度上改變了基體和涂層的結(jié)構(gòu)，使基體的了基體的力學(xué)性能( 塑性惡化) ；P V D／C V D離子注入法需要昂貴的真空或大氣保護(hù)條件，制備成本顯著增加；熱氧化法能耗大、時(shí)間長、勞動(dòng)強(qiáng)度高，涂層不均勻。因此，有必要開發(fā)新的低成本、高性能的涂層制備技術(shù)。高科技微弧氧化綜合解決了上述問題，在實(shí)踐中取得了良好的效果。